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人工智能溫控儀在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著重要的作用
點擊次數(shù):859 更新時間:2022-02-17
人工智能溫控儀適用于需要進行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統(tǒng),它可根據(jù)生產(chǎn)過程的要求,按照一定的曲線進行控制,多可分59段曲線對象進行編程控制,每一段均采用PID參數(shù)設定控制,使控制更為可靠,方便靈活的曲線控制功能,可實時監(jiān)控曲線程序段的運行時間和狀態(tài),多種事件輸入功能。
通過多種曲線控制輸出功能,可實現(xiàn)曲線控制暫停、曲線控制清零、曲線控制步進等功能,并可實現(xiàn)手/自動無擾動切換。
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐需要控制的內(nèi)容包含晶體的直徑、溫度(功率)、原料(硅料)、泄漏率和氬氣質(zhì)量等,其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關鍵因素。人工智能溫控儀在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著重要的作用。
人工智能溫控儀的主要技術(shù)原理如下:
1、軟件采用人工智能控制算法,通過上電自動跟蹤測量值變化,根據(jù)時間和所設定控制值的函數(shù)關系分段實現(xiàn)溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調(diào)節(jié)。
2、根據(jù)編程的生產(chǎn)工藝曲線,可實現(xiàn)曲線的步進、跳轉(zhuǎn)、停止、清零等功能。
3、產(chǎn)品在整個單晶路溫度調(diào)節(jié)中主要負責溫度的控制。
采用人工智能溫控儀作為主核心控制系統(tǒng)以來,碲鎘汞單晶爐的控制運行狀況良好,至今仍*出現(xiàn),*可以替代進口的控制儀表。無論從運行實際狀況來看,還是從性價比來看,選擇人工智能溫控儀確實能夠*要求。
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